Cameca-SIMS (Model:4550)

0
227
Vui lòng liên hệ với chúng tôi– chúng tôi sẽ liên hệ lại với khách hàng bằng điện thoại hoặc email.
Lưu ý: Tham khảo ý kiến của nhân viên INO sẽ giúp bạn tiết kiệm được thời gian và chi phí khi cần mua sắm. ​​Với sự tư vấn của chúng tôi, bạn sẽ không gặp khó khăn khi tìm hiểu về đặc tính của sản phẩm cần mua.

Quadrupole SIMS Microprobe for dopant depth profiling and thin layer analysis in semiconductors.

The CAMECA SIMS 4550 offers extended capabilities for ultra shallow depth profiling, trace element and composition measurements of thin layers in Si, high-k, SiGe and other compound materials such as III-V for optical devices.

High depth resolution and high throughput

With ever shrinking device dimensions, the implant profiles and layer thickness of today’s semiconductors are often in the range of 1-10nm. The SIMS 4550 has been optimized to address these application fields by offering oxygen and cesium high density primary beam with an impact energy programmable from 5keV down to less than 150eV.

Flexibility

CAMECA’s SIMS 4550 is a dynamic SIMS tool offering full flexibility in sputter conditions (impact angle, energy, species).
Layer thickness, alignment, stoechiometry of optical componentsWith dedicated options for charge compensation (electron gun, laser) during sample sputtering, insulating materials can be easily analyzed.
Sample holders can accommodate a variety of samples: small pieces of a few mm² up to 100mm diameter sample size.

The SIMS 4550 offers excellent sensitivity for H, C, N and O thanks to its advanced UHV design with main chamber pressure in the low E-10mbar (E-8Pa) range. 
The profiles above show the structure of a GaN LED. The SIMS 4550 measures layer thickness, alignment, abruptness, integrity, uniformity and stoechiometry.

High precision and automation

State-of-the-art quadrupole analyzer optics and superior peak to background performance are key factors for low detection limits for trace elements. Ultra stable ion sources and electronics ensure highest precision and repeatability of measurements down to < 0.2% RSD. The human factor on precision is well taken into consideration by easy-to-use software, predefined recipes, remote operation and trouble shooting.
All instrument settings of each measurement are stored in a database. Repeated measurements are therefore only a few mouse clicks away. Further automation features queued measurements on multiple samples with individual measurement settings (recipes).

Lưu ý: Nếu một thiết bị nào đó không được liệt kê ở đây, điều đó không có nghĩa rằng chúng tôi không hỗ trợ được bạn về thiết bị đó. Hãy liên hệ với chúng tôi để biết danh sách đầy đủ về thiết bị mà chúng tôi có thể hỗ trợ và cung cấp.
INO: Bán, Báo giá, tư vấn mua sắm và cung cấp, tư vấn sản phẩm thay thế; tương đương, hướng dẫn sử dụng, giá…VNĐ, …USD info@ino.com.vn | Tel: (+84) 028 73000184 | Cameca-SIMS (Model:4550).